Baseret på deres driftsprincipper kan tryksensorer kategoriseres i flere typer, herunder keramiske kapacitive, metalkapacitive, tynde-film strain gauge, strain gauge, silicium piezoresistive, silicium kapacitive og silicium resonanstyper. Blandt disse tilbyder resonanstryksensorer den højeste nøjagtighed og opnår præcision op til 0,01 % FS over hele temperaturområdet (-40 grader til 85 grader). På grund af deres enestående nøjagtighed bruges de i vid udstrækning i applikationer, der kræver ekstrem høj trykpræcision, såsom havdybdemåling, trykreferencestandarder, måling af flyflyvningsparameter og meteorologisk overvågning. Årsagerne til, at siliciumresonanstryksensorer opnår en sådan højpræcis trykmåling, er som følger:
1. Kernestrukturen af en siliciumresonanstryksensor er en symmetrisk dobbelt-klemt siliciumresonator. Resonatorens resonansfrekvens ændres med påført tryk. Da frekvens er en iboende egenskab ved faste stoffer, er den mindre modtagelig for lav-støj og udviser minimal variation med temperaturen. Denne naturlige filtreringseffekt resulterer i et højt signal-til-støjforhold.
2. Den dobbelt-klemte resonatorstruktur sikrer, at når resonatoren vibrerer, er den ydre nettokraft nul. Derudover, på grund af brugen af MEMS anodisk bindingsteknologi, fungerer hele resonatoren i et vakuummiljø, hvilket opnår en høj kvalitetsfaktor.
3. Under designprocessen er spændings-aflastningsstrukturer inkorporeret i de termisk følsomme områder af resonatoren for at minimere termisk belastning. Dette reducerer den termiske belastning på resonatoren markant.
Xi'an Mihui Technologys siliciumresonanstryksensorprodukter opnår høj-trykmåling med en nøjagtighed på 0,01 % FS over hele temperaturområdet. De tilbyder uovertruffen årlig stabilitet på 0,01 % FS og understøtter både frekvensoutput og RS485 digital output. Disse sensorer dækker absolut trykmålinger fra 100 kPa til 1 MPa. Specifikationerne er som følger:
Interesserede parter er velkomne til at kontakte os via oplysningerne på vores hjemmeside.
